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美國TEM氣體過濾器TEM-250-24用半導體制造

  • 時   間:2024-05-07
  • 型   號:TEM-260-DN50
  • 價   格:

美國TEM氣體過濾器TEM-250-24用半導體制造
TEM-250-24過濾器應用
?一般和工藝惰性設施氣體。
?關鍵工藝的清潔干燥空氣(CDA*),包括前開口統(tǒng)一吊艙(FOUP)清潔和光刻。

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美國TEM氣體過濾器TEM-250-24用半導體制造



TEM-228-16 1.0“內(nèi)螺紋NPT入口/出口640.1 mm(25.2")

TEM-250-24 1.5“短管入口/出口637.5 mm(25.1")

TEM-250-32 2.0“短管入口/出口637.5 mm(25.1")

TEM-260-DN50法蘭(詳見圖紙)643.1 mm(25.32")

TEM-250-24過濾器應用

•一般和工藝惰性設施氣體。

•關鍵工藝的清潔干燥空氣(CDA*),包括前開口統(tǒng)一吊艙(FOUP)清潔和光刻。

TEM-250-24過濾器功能和優(yōu)點

•電拋光外殼

過濾器組件具有15Ra電拋光316L不銹鋼外殼,防止腐蝕和粒子在內(nèi)表面上積聚。

•包裝外清潔度

我們的GasPro™ 清潔TEM-200過濾器,并包裝在無塵室內(nèi),不含有機物包裝外、無顆粒和無化學品清潔度。最終組裝已清除使用過濾氮氣進行初始清潔。附加的預處理是可選的。

•多種配件選項,便于安裝標準配件選項包括端面/墊片密封,壓縮、對焊和NPT。特殊配件,包括三夾鉗(三葉草)衛(wèi)生和法蘭類型,可根據(jù)要求提供。

•氦泄漏測試

所有裝置均以1x10-9 atm cc/s的速度進行測試。

。該放就放了吧,該棄就棄了吧,該舍就舍了吧,該忘就忘了吧!當我們無法改變事實時,我們可以改變自己的想法,改變面對生活的態(tài)度,從而改變結(jié)局。當我們能接受已經(jīng)發(fā)生的,改變能改變的,煩惱自然就會越來越少。"

HYLIK海歷克張濤張經(jīng)理今天給大家講講關于TEM過濾器TEM-250-32技術參數(shù)以及產(chǎn)品規(guī)格,目前沒有現(xiàn)貨額,訂貨周期10-12周左右,現(xiàn)在隨著美元匯率增長價格會有所增長額,常用于半導體制造,太陽能制造行業(yè),微電子行業(yè)廣泛使用中。美國TEM氣體過濾器TEM-250-24用半導體制造

GasPro™ TEM-200系列濾波器設計用于3 nm顆粒截留率高達200 scfm,且溫度高達80?C(176F)。ePTFE膜(1.36 m2/14.6平方英尺)使用聚丙烯支撐結(jié)構封閉在316L不銹鋼外殼,具有出色的流動性和耐化學性。使用標準Vitono形圈(其他o形圈材料可在重新測試時獲得)。

美國TEM-311-24過濾器參數(shù):

我們的多孔ePTFE過濾器提供有效的顆粒滯留3 nm。

最高工作溫度* 80°C(176°F)。 建議更換:在69C(156F)以上工作6個月。

最大工作壓力17.2 bar (250 psig) @ 20°C(68°F)。

最大正向差壓20C(68F): 6.0 bar (87 psi) 80?C(176F): 4.0 bar (58 psi)

一般和工藝惰性設施氣體,用于半導體,脂肪板顯示和其他高純度應用。 G酶用于關鍵的脂肪板工藝,包括襯底退火。 對于關鍵工藝,包括前開口統(tǒng)一吊艙(FOUP)清洗和光刻,采用稀薄干燥的空氣。

TEM-200零件號和訂購信息

零件號入口/出口配件過濾介質(zhì)/外殼其他材料長度(L)

TEM-215-16 1.0“陽墊圈密封入口/出口

PTFE/316L不銹鋼聚丙烯

氟橡膠®密封*658.4毫米(25.92英寸)



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